智能控制在超精密定位中的应用研究

• 作者: 张志 杨川 赵强
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷器件 模糊逻辑 神经网络 非线性 超精密定位
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1218-1223
• 页数: 6页
• 分类号: TP273.4
• 字数: 4256字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2009.06.019

摘要

针对超精密定位系统对定位精度的要求,研究智能PID控制技术,以提高系统的定位精度.研究对象是采用宏/微双伺服驱动系统中由压电陶瓷器件+柔性铰链构成的两维超精密定位系统.由于压电陶瓷器件+柔性铰链构成的微动系统具有迟滞、蠕变等强非线性,同时受到宏动系统高加速运行的扰动,常规PID控制难以获得良好控制效果.对此,提出神经网络自适应模糊推理PID位置控制系统,并进行了控制系统结构研究,实验结果表明:智能控制能有效改善系统的控制性能,提高了重复定位精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨川	机械制造系统工程国家重点实验室西安交通大学精密工程研究所	2	26	2.0	2.0
2	赵强	机械制造系统工程国家重点实验室西安交通大学精密工程研究所	2	26	2.0	2.0
3	张志	机械制造系统工程国家重点实验室西安交通大学精密工程研究所	2	26	2.0	2.0