基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的扫描测量平台

• 作者: 傅星 孙薇斌 李源 栗大超 胡小唐 邵力
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微触觉测头 纳米测量机 扫描测量平台
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 580-585
• 页数: 6页
• 分类号: TB92
• 字数: 2188字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2009.03.025

摘要

将自主开发的基于MEMS工艺的微触觉测头与纳米坐标测量平台相结合,构建高性能的扫描测量平台,提高了微结构和器件扫描测量的精度和分辨力.基于微触觉测头的测量原理,研究了微触觉测头应用于纳米坐标测量平台的反馈控制方法以及控制转换参数的标定方法,讨论了扫描平台不同扫描方式对测量的影响.实验进行了相对平整表面和非平整表面形貌的扫描测量,结果表明,相对平整和非平整表面进程回程重复扫描差值的标准偏差分别为15.519 nm 和23.088 nm,系统具有较高的测量重复性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李源		13	121	6.0	11.0
3	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
4	栗大超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
5	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
6	邵力		15	23	2.0	4.0
9	孙薇斌		5	32	2.0	5.0