择优取向MgO缓冲层上制备的硅基Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜的结构和性能研究

• 作者: 傅兴海 叶辉 尹伊 张磊
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: Ba0.7Sr0.3TiO3 铁电薄膜 择优取向 sol-gel
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 5013-5021
• 页数: 9页
• 分类号: O6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.07.101

摘要

分别采用sol-gel法和磁控溅射法在Si(001)单晶衬底上制备出(111)和(001)取向的MgO缓冲层薄膜,随后在其上生长Ba0.7Sr0.3TiO3(BST30)铁电薄膜.通过X射线衍射,扫描电子显微镜,原子力显微镜等方法研究了薄膜的微结构.实验结果发现,在较厚的MgO(001)缓冲层上可长出(101)取向的BST30薄膜,而在较薄的MgO(111) 缓冲层上则表现出(101)和(111)取向相互竞争的现象,随着MgO(111)缓冲层厚度的增加,BST30薄膜的(101)取向被抑制,而(001)取向逐渐增强.利用反射率测定仪、阻抗分析仪研究了BST30薄膜的光学和电学性能. 通过改进的单纯形法拟合反射率曲线,得到了BST30及其MgO缓冲层薄膜的光学常数, 由BST30薄膜的电压-电流特性(I-V曲线),发现MgO缓冲层对BST30薄膜的漏电流有明显的阻隔作用,可以有效消除BST30膜层的p-n结效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶辉	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	50	406	9.0	18.0
2	张磊	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	167	1263	18.0	29.0
3	傅兴海	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	3	13	2.0	3.0
4	尹伊	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	4	16	3.0	4.0