RF-PCVD法纳米WOx制备中传热及颗粒长大的数值模拟

• 作者: 李俊芳 王俊文 赵煜 魏国强 黄仁亮
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高频等离子体 化学气相沉积 纳米粉体 数值模拟 氧化钨
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 363-366
• 分类号: TQ174
• 字数: 2817字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.04.06

摘要

针对高频等离子体化学气相沉积法制备纳米WOx粉体过程中传热和产物颗粒长大过程进行了阐述,建立了高频等离子反应器内温度场二维轴对称模型以及产物颗粒长大动力学模型.采用有限差分法和C语言对温度场模型中涉及到的偏微分方程进行了编程求解,得到了模型的数值解.计算结果表明热辐射对温度分布有着重要的影响;颗粒粒径主要由长大区温度,浓度以及停留时间来决定.在实验工艺条件下,求解颗粒长大动力学模型,得到纳米WOx最终粒径在20～60 nm范围,且与实验结果对比可知:模型数值解与实验值相接近.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵煜	太原理工大学化学化工学院	23	95	6.0	9.0
2	李俊芳	太原理工大学化学化工学院	7	38	5.0	6.0
3	王俊文	太原理工大学化学化工学院	56	388	11.0	17.0
4	黄仁亮	太原理工大学化学化工学院	1	1	1.0	1.0
5	魏国强	太原理工大学化学化工学院	1	1	1.0	1.0