双腔并联式无阀压电微泵的设计及制作

• 作者: 徐迎华 李鑫 闫卫平 陈怡儒
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 双腔 无阀微泵 压电双晶片 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 611-614
• 分类号: TH38|TN384
• 字数: 2593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2010.04.026

摘要

为了实现微流控芯片的小型化、集成化,设计并制作了一种可定量连续输送微量液体的无阀压电微泵.该微泵采用双腔并联式结构,利用微机电系统(MEMS)技术在硅基片上制作了具有扩散口/喷口无阀结构的出入水口,采用压电双晶片作为驱动部件,以聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜.测试结果表明,泵膜的厚度、工作频率和电压对微泵的输出流速均有明显的影响,在频率1100 Hz及电压80 V时,双腔体并联式无阀压电微泵的最大流速为210μL/min,约为相同结构单腔体微泵流速的1.5倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫卫平	大连理工大学电子科学与技术学院	57	328	9.0	14.0
2	李鑫	大连理工大学电子科学与技术学院	23	125	7.0	10.0
3	徐迎华	大连理工大学电子科学与技术学院	20	20	3.0	4.0
4	陈怡儒	大连理工大学电子科学与技术学院	1	7	1.0	1.0