半导体制造中多组合设备的Petri网建模及死锁分析

• 作者: 伍乃骐 朱清华 滕少华
• 来源期刊: 东南大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 多组合设备 晶圆加工 建模 Petri网 死锁控制
• 年，卷（期）: 2010,（z2）
• 页码范围: 267-271
• 分类号: TP278
• 字数: 3721字
• 语种: 中文

摘要

在半导体晶圆加工中必须保证组合设备运行时不存在死锁,为此,建立了多组合设备的模型并研究了无死锁运行问题.首先介绍了多组合设备的结构特征,用面向资源Petri网对它的结构建模;然后,在模型中引入了着色令牌和受控变迁,能很好地描述多组合设备加工晶圆的过程.此模型结构紧凑简洁,能分析加工过程中的稳态、初始暂态和趋停暂态阶段;同时分析了初始暂态阶段如何过渡到稳态阶段.最后,分析了模型的活性等动态行为,提出了避免死锁的控制策略.结果表明如果应用控制策略,多组合设备系统能无死锁运行,有助于对多组合设备进行调度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	滕少华	广东工业大学计算机学院	121	825	15.0	20.0
2	伍乃骐	广东工业大学机电工程学院	77	815	15.0	25.0
3	朱清华	广东工业大学机电工程学院	8	33	4.0	5.0