梯度掺杂和纳米多层调制类金刚石薄膜的摩擦学性能

• 作者: 付志强 彭志坚 王成彪 陈新春
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 复合镀膜技术 DLC薄膜 掺杂 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 36-41
• 分类号: TG115.58
• 字数: 4294字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2010.02.007

摘要

采用阴极电弧结合离子源辅助磁控溅射复合技术,充分利用薄膜组成多元化、晶体纳米化、组成和结构多层化、梯度化的优势,分别制备了多元素复合过渡层缓冲的钨元素梯度掺杂的和Cr元素纳米多层调制的类金刚石(DLC)薄膜,研究掺杂元素含量和调制层厚度对薄膜组成与结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响.梯度掺杂、多元、多层结构降低了DLC膜和钢基体之间因组成和结构不同产生的应力,改善了膜基结合力,材料综合耐磨损性能大幅度提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王成彪	中国地质大学北京工程技术学院	60	471	13.0	18.0
2	彭志坚	中国地质大学北京工程技术学院	13	59	5.0	7.0
3	付志强	中国地质大学北京工程技术学院	15	73	5.0	8.0
4	陈新春	中国地质大学北京工程技术学院	3	25	2.0	3.0