晶振膜厚监控技术中Tooling Factor的精确标定

• 作者: 张立超
• 来源期刊: 光机电信息
• 学科: 物理学
• 关键词: 膜厚控制 晶振监控 Tooling Factor
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 56-60
• 分类号: O484.4
• 字数: 2492字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OMEI 20102711.0056

摘要

晶振监控法是一种实现非规整膜系监控的重要手段.在晶振监控中,晶振片与镀膜基片上沉积薄膜厚度的比值,即Tooling Factor是相对固定的.采用晶振监控法实现薄膜厚度的精确控制必须对Tooling Factor进行精确标定.本文提出了精确标定Tooling Factor的方法,并对这种方法进行了实验验证.结果表明,该方法能够将膜厚控制误差从～20%降低到6%的水平,从而使多层膜的反射率曲线更加接近设计结果,实现多层膜膜厚的精确控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张立超		4	30	3.0	4.0