半导体工艺线CAM及SPC的应用

• 作者: 付兴昌 刘福庆 崔玉兴 李保第 李彦伟 杨中月 胡玲
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体工艺线 计算机辅助制造(CAM) 统计过程控制(SPC) 工艺监控 工艺调整 控制图
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 647-651
• 分类号: TN407|TP274.1
• 字数: 2594字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.10.013

摘要

探讨了在多品种小批量半导体工艺生产线上开发应用CAM技术及实现SPC控制的方法.作者及同事开发了适用于所在工艺线特点的CAM软件系统程序--WI系统,用于工艺的指导和记录、生产的安排和监控以及数据的记录和提取.利用SPC方法对由WI提取的数据进行统计分析处理,做出控制图,对各种工艺异常进行分析判断进而做出工艺调整,以实现有效的工艺监控,逐步提高工艺加工能力和稳定性.该生产控制方法的应用为工艺线产品的研制和生产提供了有力保证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李保第		2	3	1.0	1.0
2	刘福庆		2	3	1.0	1.0
3	付兴昌		4	4	1.0	1.0
4	李彦伟		1	2	1.0	1.0
5	杨中月		1	2	1.0	1.0
6	胡玲		1	2	1.0	1.0
7	崔玉兴		4	3	1.0	1.0