等离子体浸没离子注入与沉积技术的发展及前沿问题

• 作者: 汤宝寅 王小峰 王浪平
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体浸没离子注入与沉积 表面改性 发展
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 工程前沿
• 页码范围: 9-14
• 页数: 6页
• 分类号: TG172.444
• 字数: 5887字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2010.01.002

摘要

等离子体浸没离子注入与沉积技术可实现复杂形状零件表面垂直、均匀地离子注入与沉积处理,在材料表面改性领域具有广泛的应用前景.在技术发明后的20年间,该技术得到了快速的发展,但是也遇到了如何提高离子注入效率和注入均匀性、内表面注入、大面积注入等一系列问题.若上述问题得到解决,将极大的推进等离子体浸没离子注入与沉积技术的工业应用进程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王浪平	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	42	276	9.0	14.0
2	王小峰	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	35	258	9.0	14.0
3	汤宝寅	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	29	231	9.0	13.0