微机电系统CAD研究及发展现状

• 作者: 胡伟 胡国清 谢小柱 魏昕
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS)CAD 设计模式 多能量域耦合 宏模型
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 682-686,691
• 分类号: TN454
• 字数: 5238字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2010.04.045

摘要

随着微机电系统(MEMS)的快速发展,要求MEMS计算机辅助设计(CAD)能对MEMS设计进行快速建模与仿真分析.介绍了MEMS CAD技术的发展背景及特点,详细阐述了现有MEMS CAD的工艺先行、基于标准工艺、Bottom-Up流程、Top-Down流程及支持任意设计流程等工作模式,综述了MEMS CAD所涉及的多能量域耦合分析、宏建模及材料数据库等关键技术,最后总结了MEMS CAD软件的两种设计方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢小柱	广东工业大学机电工程学院	73	422	11.0	16.0
2	胡伟	华南理工大学机械与汽车工程学院	57	313	10.0	14.0
4	魏昕	广东工业大学机电工程学院	111	782	15.0	22.0
5	胡国清	华南理工大学机械与汽车工程学院	36	377	9.0	18.0