声表面波NO2传感器的研究进展

• 作者: 曹丙庆 李冬梅 潘勇 秦墨林 赵建军
• 来源期刊: 化学传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 NO2传感器 延迟线 谐振器 敏感膜
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 21-26
• 分类号: TP2
• 字数: 4509字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-2298.2010.02.004

摘要

NO2是一种主要的大气污染物,同时对人体健康也有较大的危害,针对其进行检测的传感器的研究和开发就显得十分重要.声表面波气体传感器具有便携性、快速响应、高灵敏度、高稳定性、低成本等特点,引起了国内外相关研究者的广泛关注.简要介绍了声表面波(SAW)气体传感器工作的基本原理、传感器敏感膜与NO2气体的作用机理以及SAW-NO2气体传感器的两种结构类型,综述了SAW-NO2气体传感器常用的几种敏感膜材料,并对SAW-NO2气体传感器的发展趋势做了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李冬梅	中国科学院微电子研究所	35	251	10.0	15.0
2	曹丙庆		20	163	7.0	12.0
3	潘勇		50	332	9.0	15.0
4	赵建军		30	193	8.0	12.0
5	秦墨林		12	28	3.0	4.0