单晶硅电火花铣削电极损耗研究

• 作者: 刘志东 田宗军 邱明波 鲁清 黄因慧
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 电火花铣削 电极损耗 放电特性
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 13-16,39
• 分类号: TG661
• 字数: 2693字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-279X.2010.06.004

摘要

提出了一种以电火花加工技术对半导体硅材料进行铣削加工的方法,分别进行了单晶硅和45钢的电火花铣削加工,发现铣削单晶硅的电极体积相对损耗仅为0.41%,而45钢达到9.22%.针对此现象,从蚀除机理、放电间隙以及放电电流的爬坡特性方面对单晶硅放电加工特性进行了研究,并解释了其电极损耗低的原因.最后研究了不同加工规准下,单晶硅电火花铣削加工电极相对损耗的工艺规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田宗军	南京航空航天大学机电学院	220	2027	21.0	32.0
2	黄因慧	南京航空航天大学机电学院	219	2593	26.0	36.0
3	刘志东	南京航空航天大学机电学院	229	1912	22.0	29.0
4	邱明波	南京航空航天大学机电学院	78	554	13.0	20.0
5	鲁清	南京航空航天大学机电学院	3	12	2.0	3.0