微惯性传感器的新进展

• 作者: 高杨
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 微惯性传感器 惯性测量单元 Systems MEMS 惯性技术 微机电系统 传感器元件 加速度开关
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 105-107
• 页数: 3页
• 分类号: TH-39

摘要

微惯性技术是惯性技术与MEMS（Micro－Electro—Mechanical Systems，微机电系统）结合产生的一门新兴交叉学科，包括MEMS惯性传感器元件技术，惯性测量、稳定，惯性导航与制导技术。微惯性传感器主要包括：MEMS加速度计、MEMS加速度开关、MEMS陀螺仪和MEMS惯性测量单元（MIMU）