晶圆厂信息控制系统介绍

• 作者: 周炳君
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆厂生产线 信息控制系统 软件集成 制造执行系统 设备集成系统 300mm国际标准 客户化
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: TP14
• 字数: 2303字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.03.012

摘要

信息控制系统(FICS)的集成是晶圆厂生产线集成的主要内容之一.介绍了65 mm级别用于生产微处理器(Microprocessor)的300 mm FAB的FICS架构实例,并就系统集成做了简单的描述,对制造执行系统MES和设备集成系统EI的客户化作了探讨,并介绍了EI部分的架构.