纳米Ag夹层ZnO薄膜的光电性能

• 作者: 孙学卿 曲崇 赵银女 闫金良
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: Ag夹层 ZnO薄膜 光学性能 电学性能
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.4
• 字数: 2826字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2010.01.003

摘要

用射频磁控溅射ZnO陶瓷靶、直流磁控溅射Ag靶的方法在室温下制备了Ag纳米夹层结构ZnO薄膜.用X射线衍射仪、紫外.可见分光光度计、四探针电阻测量仪和原子力显微镜对薄膜样品的结构、光学透过率、面电阻和表面形貌进行表征.结果表明,ZnO衬底有利于Ag夹层形成连续膜.随着Ag层厚度的增加,Ag夹层ZnO薄膜呈现多晶结构,Ag(111)衍射峰强度增强,面电阻先迅速下降后缓慢下降.随着ZnO膜厚度的增加,Ag夹层ZnO薄膜的透射峰红移.制得样品的最佳可见光透过率高达92.3%,面电阻小于4.2Ω/□.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫金良	鲁东大学物理与电子工程学院	25	100	5.0	8.0
2	孙学卿	鲁东大学物理与电子工程学院	6	39	4.0	6.0
3	赵银女	鲁东大学物理与电子工程学院	8	29	3.0	5.0
4	曲崇	鲁东大学物理与电子工程学院	7	15	2.0	3.0