开管退火对碲锌镉单晶片沉积相影响的研究

• 作者: 万锐敏 姬荣斌 胡赞东 陈雪梅 黄晖 龚晓霞
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 碲锌镉单晶片 沉积相 开管退火 Cd源 氢气氛
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 579-582
• 分类号: O781
• 字数: 3287字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2010.10.006

摘要

报道了一种CZT单晶片退火的新装置和新工艺,可以方便有效的对CZT单晶片进行开管退火.主要研究了氢气氛下加Cd源开管退火对CZT晶片中沉积相的影响.研究发现:经过开管退火处理后CZT晶片中的沉积相颗粒的密度和尺寸都明显减小,有效消除了Te沉积相,大颗粒的Cd沉积相尺寸也明显减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈雪梅		12	42	3.0	5.0
2	万锐敏		7	21	3.0	4.0
3	姬荣斌		50	200	7.0	10.0
4	黄晖		18	107	6.0	9.0
5	龚晓霞		7	31	3.0	5.0
6	胡赞东		6	23	3.0	4.0