硅基反铁电薄膜微悬臂梁力学仿真分析

• 作者: 丑修建 刘俊 卢荻 赵振宇
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 反铁电薄膜(PLZT) 微悬臂梁 应变效应 力学行为 仿真分析
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 444-448
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2334字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2010.05.016

摘要

采用双层微悬臂梁理论模型,对基于反铁电薄膜微悬臂梁驱动构件的力学行为进行分析研究.以反铁电薄膜材料体积应变ε=0.8%为设定量,实现硅基反铁电薄膜微悬臂梁结构的应变-应力载荷转化,运用ANSYS11.0对基于反铁电薄膜应变效应的硅基微悬臂梁结构进行了静态分析、模态分析和谐响应分析,通过对此微驱动结构的优化设计、仿真,得出了不同几何参数硅基微悬臂梁构件的挠度和谐振频率.从而无需进行大量的工艺流片,为大量程的微悬臂梁驱动构件的设计加工提供指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	丑修建	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	49	225	9.0	13.0
3	赵振宇	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	1	3	1.0	1.0
4	卢荻	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	1	3	1.0	1.0