多晶硅生产中回收氢气再利用研究

• 作者: 万烨 帅世玺 汤传斌
• 来源期刊: 有色冶金节能
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅干法回收氢气 再利用 经济效益 环境效益
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 63-66
• 分类号: TN304
• 字数: 3093字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-5122.2010.06.018

摘要

针对多晶硅生产系统干法回收氢气排放所带来的物料浪费、"三废"末端处理成本高、污染物排放量大等问题,研究了一种新的方法将需要排放的干法回收氢气再利用.通过气体成分分析、产污分析,总结出回收氢气再利用在多晶硅生产中对环保、安全、成本的巨大作用,并分析了利用该方法带来的经济效益以及对环境带来的积极影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万烨		9	25	3.0	4.0
2	帅世玺		2	7	2.0	2.0
3	汤传斌		1	3	1.0	1.0