SOI亚微米脊形光波导模式特性研究

• 作者: 孙德贵 李岩 王春霞 陈弘达
• 来源期刊: 长春理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 脊形波导 绝缘体上硅 单模条件 偏振无关性
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 55-58
• 分类号: TB133
• 字数: 2985字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9870.2010.03.016

摘要

光波导的小型化研究对于减小光波导分立器件的体积和提高其集成度至关重要,纳米级波导光传输特性对其横截面的几何尺寸非常敏感.本文讨论和分析了高、宽都小于500nm的脊形光波导的单模务件和偏振无关条件.研究表明,绝缘体上硅(SOI,Silicon-on-Insulator)亚微米脊形渡导的模式特性与脊形微米级光波导是十分不同的,传统的有效折射率法等数值计算方法有其局限性,这里我们采用了快速准确的三维束传播(beam propagation method,BPM)算法,得到亚微米脊形光波导满足单模和偏振无关条件的重叠截面尺寸参数.尤其,当波导高度为300nm,单模条件与400nm高度的波导开始有显著不同.因此,这些研究结论为构筑基于亚微米尺寸波导的光电子器件结构设计提供一定理论支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李岩	长春理工大学光学工程系	112	676	15.0	19.0
3	王春霞	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	50	2117	21.0	46.0
4	陈弘达	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	82	341	10.0	13.0
7	孙德贵	长春理工大学光学工程系	6	12	3.0	3.0