具有不同插入层的CrNx涂层的结构和性能

• 作者: 宋慧瑾 沈丽如 童洪辉 郑家贵 鄢强 金凡亚
• 来源期刊: 四川大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: CrNx 涂层 插入层 硬度 结合力
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 869-876
• 分类号: TB43|TG174.453
• 字数: 3608字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2010.04.036

摘要

采用直流反应磁控溅射技术,在AISI 304不锈钢基体上镀制了三种具有不同插入层结构的CrNx涂层.用X射线晶体衍射仪(XRD)表征了涂层的晶体结构,用扫描电子显微镜(SEM)观察了涂层的横断面组织形貌,用原子力显微镜(AFM)观察分析了涂层的表面形貌,并用划痕法测试涂层的结合力,纳米硬度计测试涂层硬度.所有涂层都呈B1 NaCl型面心立方结构,具有明显的(200)择优取向.但是,具有不同插入层结构的涂层的晶体衍射峰的位移角度及方向不同.并且在具有Cr/CrNx多层交替结构作为插入层的涂层的晶体结构中出现了Cr的衍射峰.在这种具有不同插入层结构的CrNx涂层中,Cr/CrNx多层交替结构作为插入层的涂层具有最小晶粒尺寸,较高的表面粗糙度,最高的纳米硬度值和较差的膜基结合力;而具有氮含量连续增加梯度结构作为插入层的涂层晶粒尺寸较大,表面粗糙度较低,膜基结合力好,但纳米硬度值较低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金凡亚		57	226	8.0	12.0
2	郑家贵	四川大学材料科学与工程学院	49	317	9.0	15.0
3	沈丽如		52	377	11.0	16.0
4	童洪辉		51	520	10.0	21.0
5	宋慧瑾	成都大学工业制造学院	40	54	4.0	5.0
6	鄢强		3	0	0.0	0.0