正交实验法在研究沉铜微蚀中的应用

• 作者: 张庭主 徐玉婷
• 来源期刊: 印制电路信息
• 学科: 工学
• 关键词: 正交实验法 微蚀 微蚀速率 工艺参数
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 孔化与电镀
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 分类号: TN41
• 字数: 1798字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0096.2010.03.005

摘要

文章运用正交实验法对沉铜前处理中的微蚀工艺参数进行了分析,确定了得出了影响微蚀速率的主要因素,得出了最佳生产条件.最后做出直观图验证了实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐玉婷		2	3	1.0	1.0
2	张庭主		2	3	1.0	1.0