异丙醇在硅碱性腐蚀液中的作用

• 作者: 于妍 刘晓伟
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 碱性腐蚀液 异丙醇 粗糙度
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 23-25
• 分类号: TN305.2
• 字数: 1611字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.08.006

摘要

在硅单晶的碱性腐蚀过程中,往往由于碱性腐蚀液对单晶硅的腐蚀速率过快,从而增大了硅单晶片表面的粗糙度.异丙醇有着减缓腐蚀速率的功效因而降低了硅单晶片表面的粗糙度.主要讨论了异丙醇在碱性腐蚀液中的作用原理并对腐蚀实验结果做了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于妍		8	39	3.0	6.0
2	刘晓伟		5	16	2.0	3.0