微光机电系统光栅平动式光调制器的激光投影研究

• 作者: 张智海
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 微光机电系统 光栅平动式光调制器 标量衍射 激光投影显示
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 663-667
• 页数: 5页
• 分类号: TN27
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20103703.0663

摘要

提出了一种新颖的面向激光投影的微光机电系统(MOEMS)光栅平动式光调制器(GMLM),利用衍射原理对光进行动态调制,具有较简单的工艺和投影光学系统.介绍了GMLM的光调制原理和以GMLM阵列为核心器件的投影光学系统的构成.建立了GMLM的等效光学模型,用标量衍射方法推导出了GMLM经过投影光学系统成像的夫琅禾费衍射图样复振幅分布.搭建了GMLM投影演示系统,进行了静态投影和动态投影实验.实验验证了上述公式的正确性,并且验证了GMLM光调制原理和投影成像原理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张智海		38	198	9.0	12.0