基于感应耦合等离子刻蚀技术的三维微拉伸梁制作工艺

• 作者: 侯志武 张段芹 王立鼎 褚金奎
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 感应耦合等离子刻蚀 阶梯状窗口 热氧化硅薄膜 微拉伸梁
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 制造工艺与装备
• 页码范围: 182-186
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 3575字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2010.01.182

摘要

根据感应耦合等离子(Inductively coupled plasma, ICP)刻蚀的机理,针对热氧化硅薄膜微拉伸梁的结构特点,研究ICP刻蚀制作3D微拉伸梁结构的工艺并解决其中的难点问题.介绍ICP刻蚀工艺参数对刻蚀质量的影响,包括存在的微负载效应和深宽比效应.详细介绍热氧化硅薄膜微拉伸梁的制作,其关键步骤是双掩膜两次ICP刻蚀形成阶梯状窗口结构,并在硅衬底表面形成释放了的热氧化硅薄膜梁.利用ICP刻蚀对单晶硅的高选择性,此制作工艺适用于各种薄膜的微拉伸梁制作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立鼎	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	130	1877	24.0	38.0
2	张段芹	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	3	7	2.0	2.0
3	褚金奎	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	119	1260	20.0	30.0
4	侯志武	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	2	3	1.0	1.0