低温等离子体增强化学气相沉积法制备Ge反opal三维光子晶体及其光学性能

• 作者: 李宇杰 李效东 杜盼盼 许静 谢凯 韩喻
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Ge反蛋白石(opal)光子晶体 低温等离子增强化学气相沉积 高分子材料 光子带隙
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 1839-1846
• 页数: 8页
• 分类号: O371
• 语种: 中文

摘要

通过溶剂蒸发对流自组装法制备SiO_2三维有序胶体模板,采用等离子体增强化学气相沉积法在200℃低温条件下填充高折射率材料Ge,获得了Ge反opal三维光子晶体.实现了低于GeH_4热分解温度的低温填充.通过扫描电镜、X射线衍射仪和傅里叶变换显微红外光谱仪对Ge反opal的形貌、成分和光学性能进行了表征.结果表明:沉积得到无定型态Ge,退火后形成多晶Ge,Ge在SiO_2微球空隙内填充致密均匀.Ge反opal的反射光谱有明显的光学反射峰,表现出光子带隙效应,其带隙中心波长为1650 nm和2640 nm,测试的光学性能与理论计算基本符合.采用SU-8光刻胶薄膜也进行了Ge沉积,证实了SU-8模板可以耐受这一沉积温度.低温沉积降低了Ge的填充温度,可以直接采用不耐高温的高分子材料作为初始模板,单次复型制备得到多种构型的完全带隙三维光子晶体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩喻	国防科学技术大学材料工程与应用化学系	20	190	7.0	13.0
2	谢凯	国防科学技术大学材料工程与应用化学系	56	590	12.0	22.0
3	许静	国防科学技术大学材料工程与应用化学系	18	78	5.0	8.0
4	杜盼盼	国防科学技术大学材料工程与应用化学系	3	19	2.0	3.0
5	李宇杰	国防科学技术大学材料工程与应用化学系	16	75	5.0	7.0
6	李效东	国防科学技术大学材料工程与应用化学系	16	59	5.0	6.0