半导体薄膜电阻的测量技术研究

• 作者: 韩萌
• 来源期刊: 科技信息
• 学科: 工学
• 关键词: 电阻率 四探针 测量
• 年，卷（期）: 2010,（32）
• 页码范围: 101
• 分类号: TM93
• 字数: 2586字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9960.2010.32.085

摘要

电阻率是描述半导体材料性能的重要参数之一,四探针技术是测量半导体材料电阻率的主要手段.本文对四探针技术测量半导体薄层电阻的重要性进行了分析,结合常用的四探针测量技术探讨半导体电阻率的测量方法,重点讨论直线四探针技术和矩形四探针技术,对比了常用的几种四探针技术的优劣.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩萌		15	41	3.0	5.0