高频线圈坡面对生长FZ单晶的影响

• 作者: 刘洪飞 董军恒
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: FZ单晶 高频线圈 磁力
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 材料制备工艺
• 页码范围: 25-28
• 分类号: TN305.1
• 字数: 1981字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.04.006

摘要

通过对高频线圈下坡面对生长FZ单晶的作用,分析了不同坡面线圈的磁力分布,以及磁力在单晶生长过程中的作用.线圈下面坡度的大小,会产生分布不同的磁力,在FZ单晶生长时,磁力对固液交界面的外边缘有重要的影响.分析认为采用下坡度合适的加热线圈,可以有利于单晶的顺利生长,提高单晶的成功率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董军恒	中国电子科技集团公司第四十六研究所	5	8	2.0	2.0
2	刘洪飞	中国电子科技集团公司第四十六研究所	2	7	2.0	2.0