双光源DMD数字光刻系统

• 作者: 余秋香 易云
• 来源期刊: 光机电信息
• 学科: 工学
• 关键词: 双光源 DMD 数字光刻
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 激光与光学技术
• 页码范围: 27-31
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2576字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OMEI20112808.0027

摘要

基于DMD数字光刻系统,建立了一种新型的双光源DMD数字光刻系统.双光源DMD数字光刻系统由光源照明系统、DMD数字微镜、投影物镜以及CCD调焦系统等几个部分组成.实验表明,与DMD数字光刻系统相比,双光源DMD数字光刻系统具有调焦点不被曝光的优点,可用于制作光纤端面微光学器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余秋香		20	10	2.0	2.0
2	易云		6	23	3.0	4.0