MCVD料温控制系统的改进

• 作者: 刘立起
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 温度控制 热源 环境 制冷
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 材料加工与设备
• 页码范围: 4-6,32
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2631字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.10.002

摘要

MCVD料温控制系统的改进设计方案一改传统的半导体制冷控制和水浴、油浴的加热、制冷交替作用来维持料温的动态平衡状态,为了更精确地控制料温以及最大限度地降低能耗,采用硅橡胶加热带作为加热源,用我所现有的7℃水作为冷环境条件。克服了温度震荡平衡的缺陷,把料温控制在一个相对恒定的范围内,最大限度地去除了料温波动。完全满足光纤预制棒单模、硼棒等工艺要求,达到稳定运行水平。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘立起	中国电子科技集团公司第四十六研究所	3	1	1.0	1.0