一种新型电容式加速度传感器敏感电极的研究

• 作者: 刘双峰 徐晟 甘潦 马铁华
• 来源期刊: 中北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度计 高灵敏度 氧化铝 水银
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 电子与电子信息
• 页码范围: 218-221
• 分类号: TP212
• 字数: 1584字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3193.2011.02.020

摘要

针对现有加速度传感器在测试时相对于高冲击后可能导致丧失高灵敏度的性能,提出了一种新型电容式加速度传感器.该传感器利用水银作为液体敏感电极代替传统的固体敏感电极,结构简单.实验证明:该传感器性能良好,线性度为6.52%,灵敏度为0.501pf/g,重复性为1.45%,可广泛应用于抗高过载低量程方面的加速度测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马铁华	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	194	1323	17.0	27.0
2	徐晟	中北大学经济与管理学院	2	10	1.0	2.0
3	刘双峰	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	15	59	5.0	7.0