基于硅MEMS敏感结构的光学检测声传感器

• 作者: 史鑫 栾剑 王伟 陈信琦
• 来源期刊: 中国电子科学研究院学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 光学检测 声传感器 灵敏度
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 工程与应用
• 页码范围: 320-323
• 分类号: TP212
• 字数: 3052字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5692.2011.03.023

摘要

介绍了一种基于硅基MEMS敏感结构的光学式声传感器,对其工作原理及设计进行了分析与研究,尤其是对感声膜结构,提出将波纹结构引入到传统硅基平膜芯片中,利用MEMS技术制作具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片,并制作传感器样品.经样品测试,灵敏度达30 mV/Pa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王伟		102	238	8.0	12.0
2	史鑫		14	27	3.0	3.0
3	栾剑		5	15	3.0	3.0
4	陈信琦		2	3	1.0	1.0