椭偏法测定TiO2薄膜的光学常数

• 作者: 杨修文 王明秋 王金伟
• 来源期刊: 郧阳师范高等专科学校学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 椭偏测量 光学薄膜 TiO2薄膜
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 自然科学研究
• 页码范围: 73-75
• 分类号: O432.2
• 字数: 1322字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-6072.2011.03.021

摘要

详细介绍了使用椭偏仪测定薄膜的光学常数的原理,采用溶胶-凝胶法在普通载玻片上制备了均匀透明的TiO2薄膜,借助椭偏仪测量了薄膜的光学特性.