半导体桥等离子体的光学诊断

• 作者: 冯红艳 张文超 张琳 朱顺官
• 来源期刊: 南京理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 化学
• 关键词: 半导体桥等离子体 等离子体成分 辐射强度 等离子体速度
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 127-131
• 分类号: O657.3
• 字数: 2378字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9830.2011.01.026

摘要

为了克服半导体桥(SCB)等离子体尺寸小、存在时间短的局限性问题,用发射光谱法和增强型电荷耦合器件(ICCD)研究了SCB等离子体的特性.原子发射光谱表明SCB等离子体成分包括铝原子、铁原子、铜原子、铜离子、硅原子和硅离子.根据Stark展宽法,用AlⅠ 394.40nm计算等离子体的电子密度为1016cm-3.等离子体尺寸约为500～2 000 μm.在延时为1μs时刻,等离子体径向速度约为1 km/s,轴向约为0.7 km/s,在5μs时降到最小.研究结果为优化桥体设计和改善装药条件等研究提供了依据.该方法提供了一种瞬态小尺寸等离子体的诊断途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱顺官	南京理工大学化工学院	69	437	10.0	18.0
2	冯红艳	南京理工大学化工学院	18	229	7.0	15.0
3	张琳	南京理工大学化工学院	67	748	13.0	25.0
4	张文超	南京理工大学化工学院	25	152	8.0	11.0