面向微机械应用的CVD金刚石微齿轮的制备

• 作者: 卢文壮 左敦稳 徐锋 王珉 王红军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 图形化 热丝法化学气相沉积 微结构 微机械
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 页码范围: 1399-1403
• 分类号: O436
• 字数: 2454字
• 语种: 中文

摘要

以电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺制备单晶硅微齿轮陈列模具,采用热丝法化学气相沉积(HFCVD)制备出结构精细的金刚石微齿轮,其齿顶圆直径约1.55 mm、齿轮厚度10μm.应用扫描电镜分别观察了ICP刻蚀的硅微齿轮模具及CVD金刚石微齿轮,表明齿轮微结构形貌精细,金刚石微齿轮较好地复制了硅微细结构；Raman光谱分析表明微齿轮的金刚石质量较高.此工艺可以实现金刚石薄膜的精细图形化,为面向微机械应用的金刚石器件的经济批量制备提供了一种途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
2	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
3	徐锋	南京航空航天大学机电学院	85	541	13.0	18.0
4	王珉	南京航空航天大学机电学院	205	2631	27.0	40.0
5	王红军	南京航空航天大学机电学院	6	53	3.0	6.0