激光差动共焦曲率半径测量系统的研制

• 作者: 孙若端 杨佳苗 赵维谦 邱丽荣
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 差动共焦 曲率半径 定焦
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 2833-2838
• 分类号: TH741
• 字数: 3525字
• 语种: 中文

摘要

针对国内高精度曲率半径计量需求,研制一套激光差动共焦曲率半径测量系统.该系统采用差动共焦定焦技术,利用轴向光强响应曲线的过零点精确对应物镜聚焦焦点这一特性,借助过零点对被测件的猫眼和共焦位置进行精密瞄准定位,通过干涉测长技术获取两点间的距离,继而实现曲率半径的高精度测量.该测量系统的机电控制由主控软件完成,可实现机电扫描、数据采集及数据处理,自动化程度高.实验证明,该系统定焦灵敏度高,受环境波动影响小,测量精度可达3×10-6,满足了高精度曲率半径的计量需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱丽荣	北京理工大学光学测量研究中心	42	160	7.0	11.0
2	赵维谦	北京理工大学光学测量研究中心	55	192	8.0	11.0
3	杨佳苗	北京理工大学光学测量研究中心	4	44	2.0	4.0
4	孙若端	北京理工大学光学测量研究中心	1	16	1.0	1.0