半导体加工工艺走向15 nm转折点

• 作者: 江兴
• 来源期刊: 半导体信息
• 学科: 经济
• 关键词: 半导体加工 NM 半导体企业 量产化 体管 微细化 逻辑电路 工艺发展 还都 光刻技术
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 33-34
• 页数: 2页
• 分类号: F416.63

摘要

【正】世界上的巨型半导体企业如Intel和台积电等将率先从2011年后启动开发22 nm以下的微细化量产技术,同时还都认为,2013年后可望量产化的15 nm技术是半导体加工工艺发展道路上的一个转折点。其表现为逻辑电路上现用的CMOS平面体管,将转变为具有3维沟道导向的立体晶体管。这一转变势必严重