单模小发散角免键合激光器芯片的研制

• 作者: 刘浩 安振峰 张世祖 陈宏泰
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体激光器 单模 发散角 模式扩展 键合
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 器件与技术
• 页码范围: 353-356
• 分类号: TN248.4
• 字数: 1833字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.06.002

摘要

传统激光器由于封装键合工艺的要求,需要较大的芯片电极面积,限制了器件尺寸进一步小型化.量子尺寸的衍射效应使量子阱半导体激光器的垂直结平面发散角较大,不利于光束整形,限制了半导体激光器的直接应用.为解决这些问题,采用加入模式扩展层的光波导结构,将垂直发散角由40°减小到22°左右;采用p与n电极同面的脊波导结构,可将激光器同载体直接烧结,无需键合工艺,减小了电极面积,进而缩小了芯片尺寸.25℃,60 mA注入电流下进行测试,阈值电流Ith≤10 mA,输出功率P约为55 mW.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘浩	中国电子科技集团公司第十三研究所	14	30	3.0	4.0
2	陈宏泰	中国电子科技集团公司第十三研究所	25	102	6.0	8.0
3	安振峰	中国电子科技集团公司第十三研究所	31	150	7.0	10.0
4	张世祖	中国电子科技集团公司第十三研究所	12	54	5.0	7.0