半导体设备中铝合金精密零件尺寸稳定性工艺研究

• 作者: 张雅丽
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: LY12硬铝合金 “CZ”状态 冷热循环稳定处理
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 专用设备制造工艺
• 页码范围: 51-53
• 分类号: TH161.11
• 字数: 2541字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.08.014

摘要

通过对半导体设备中LY12铝合金类高精度、薄壁零件的尺寸稳定性研究,分析了影响零件尺寸稳定性的因素,选取了一道人工时效处理和三道各循环三次的冷热循环稳定处理工艺方案,使整个零组件从加工、装配、产品测试到库存,再到成品试验的自然时效时间内,原加工精度经过再次复测,没有发生变化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张雅丽	中国电子科技集团公司第四十五研究所	6	4	1.0	1.0