超高纯铝合金互连线及其溅射靶材

• 作者: 陈江波 马晓艺 黄光杰
• 来源期刊: 轻合金加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超高纯铝合金 集成电路 互连线 溅射 靶材
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 轻合金材料及应用
• 页码范围: 56-60
• 分类号: TG146.21
• 字数: 4839字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7235.2011.07.012

摘要

近些年来,随着集成电路(IC)技术的进步,围绕集成电路的相关应用得到迅速发展,超高纯铝合金溅射靶材作为集成电路金属互连线制造中的配套材料,由此成为最近国内研究的热点.本文就超高纯铝合金溅射靶材在金属互连线中的应用、性能要求、加工工艺以及发展前景进行了综述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄光杰	重庆大学材料科学与工程学院	90	1537	20.0	37.0
2	马晓艺	青海大学机械工程学院	19	13	2.0	3.0
3	陈江波	重庆大学材料科学与工程学院	5	33	3.0	5.0