ULSI中的铜互连线RC延迟

• 作者: 卢振钧 李志国 轩久霞
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 铜互连线 电容 低介电常数 可靠性 RC延迟
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 电子元器件与可靠性
• 页码范围: 33-37
• 页数: 5页
• 分类号: TN405.97
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2003.03.007

摘要

随着ULSI向深亚微米特征尺寸发展，互连引线成为ULSI向更高性能发展的主要限制因素。由互连引线引起的串扰噪音及RC延迟限制了ULSI的频率性能的提高，同时考虑到电迁移和功率损耗，人们开始寻找新的互连材料；低电阻率的铜互连材料和低介电常数介质的结合可以有效地改善互连线的性能。主要讨论了互连延迟的重要性以及改善和计算延迟的方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李志国	北京工业大学电子信息与控制学院	57	418	12.0	18.0
2	轩久霞	北京工业大学电子信息与控制学院	1	11	1.0	1.0
3	卢振钧	北京工业大学电子信息与控制学院	2	17	2.0	2.0