自动缺陷分类系统在超声扫描显微镜中的应用

• 作者: 连军莉 魏鹏
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 超声扫描显微镜 缺陷 自动分类
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 1-3,14
• 分类号: TP391
• 字数: 2039字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.01.001

摘要

介绍了超声扫描显微镜中的一种自动缺陷分类系统.该系统采用连通区域标记技术,分析缺陷的具体特征,根据设定阈值将它们分类,由此可以判断哪些是可以接受的缺陷,哪些是需要检出的严重缺陷.系统自动分析的特征,减少了缺陷分析时间和主观性造成的缺陷分类错误,使得分析结果更加精确,重复性更高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	连军莉	中国电子科技集团公司第四十五研究所	10	23	3.0	4.0
2	魏鹏	中国电子科技集团公司第四十五研究所	7	5	1.0	2.0