一种可用于硅刻蚀工艺模拟的三维表面演化算法

• 作者: 张鉴 徐栋梁 戚昊琛 胡智文
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅刻蚀 工艺模拟 三维 表面演化算法
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1869-1872
• 分类号: TN30
• 字数: 1618字
• 语种: 中文

摘要

针对硅微加工中的刻蚀工艺模拟应用,提出了一种基于点元网格和单位法向最的三维表面演化算法,在形成的连续曲面上,以高斯积分法得到点元步进的单位法向量,实现三维表面的构建与推进.根据典型的刻蚀工艺及其物理模型,该表面演化算法能够用于硅等离子体刻蚀等与表面演化方向相关的工艺模拟.参照简单的各向同性刻蚀,利用该三维算法实现了不同视角的三维硅刻蚀工艺的模拟结果,通过与相关实验结果的对比,验证了这种新型三维表面演化算法对相关工艺描述的实用性与准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡智文	温州大学瓯江学院	11	41	4.0	5.0
2	张鉴	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	34	291	9.0	16.0
3	戚昊琛	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	22	99	6.0	8.0
4	徐栋梁	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	2	7	2.0	2.0