微构造硅表面形貌的陷光特性研究

• 作者: 何慧丽 刘颂豪 王芳 陈长水
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 化学
• 关键词: 激光技术 黑硅 陷光特性 飞秒激光
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 617-621
• 分类号: TN249|O613.72
• 字数: 2401字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2011.05.017

摘要

在特定的气体氛围下,用一定能量密度的飞秒激光连续照射单晶硅片表面,可制备出表面具有准规则排列微米量级锥形尖峰结构的黑硅材料.利用几何光学中光的传输理论,研究了黑硅材料的陷光特性,以及黑硅表面准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的形状和密度对反射次数的影响.得到黑硅的表面准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的高度越高、间距越小和底角越大,它的陷光效果就越好的结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘颂豪	华南师范大学光子纳米生物技术研究中心	308	3297	27.0	39.0
2	陈长水	华南师范大学光子纳米生物技术研究中心	23	100	6.0	9.0
3	王芳	华南师范大学光子纳米生物技术研究中心	9	167	6.0	9.0
4	何慧丽	华南师范大学光子纳米生物技术研究中心	5	7	1.0	2.0