射频微机电并联电容式开关的参数性能分析

• 作者: 吕善伟 张岩 甄可龙 黄广君
• 来源期刊: 河南科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS 开关 插损 隔离度 共面波导
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 电工电信、自动化与计算机
• 页码范围: 25-29
• 分类号: TN63
• 字数: 2690字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6871.2011.03.007

摘要

射频微电子机械系统RF MEMS开关的高隔离度与低插入损耗特性,同开关自身的结构参数密切相关.为了得到更好的开关性能,在设计过程中有必要对射频MEMS开关的相关参数进行优化.本文用ADS和HFSS仿真设计软件,对射频MEMS并联电容式开关的微波特性进行了分析和仿真,研究了MEMS开关的等效电路参数和结构参数的变化对RF MEMS开关微波特性的影响.仿真结果表明:等效电容参数和MEMS开关桥宽度是影响开关性能的关键参数,当开关的等效电容参数增加20pF,或MEMS桥的宽度增加40 μm时,RF MEMS开关的插入损耗则可能增加10 dB以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕善伟	北京航空航天大学电子信息工程学院	154	774	15.0	23.0
2	黄广君	河南科技大学电子信息工程学院	29	207	9.0	12.0
3	张岩	北京航空航天大学电子信息工程学院	40	148	7.0	10.0
4	甄可龙	北京航空航天大学电子信息工程学院	4	28	2.0	4.0