紫外激光在精细加工中的应用研究

• 作者: 杨松涛 韩微微 高爱梅
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外激光 低温共烧陶瓷生瓷片 蓝宝石 单晶硅
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 光伏制造与设备
• 页码范围: 17-20
• 分类号: TN249
• 字数: 2918字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.03.005

摘要

论述了紫外激光加工原理,分析了其优缺点.并使用紫外脉冲激光对LTCC生瓷片、蓝宝石晶圆片、太阳能单晶硅片等材料进行了初步的激光划切工艺实验,得到了对这些不同材料加工的一些工艺参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨松涛	中国电子科技集团公司第四十五研究所	13	37	3.0	5.0
2	韩微微	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	17	3.0	4.0
3	高爱梅	中国电子科技集团公司第四十五研究所	9	9	2.0	2.0