Ka波段五位分布式MEMS传输线移相器设计

• 作者: 柏鹭 王强 贾小慧 高杨
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微电子机械系统 分布式移相器 传输线
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 204-207,275
• 分类号: TN623
• 语种: 中文

摘要

通过在共面波导上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS移相器.首先给出了5位分布式MEMS移相器的总体结构图,分析了理论参数的设计方法.再采用HFSS建立单个微桥的三维电磁仿真模型,利用仿真得到的S参数拟合微桥的up态和down态电容值并与理论设计电容值对比,确定MEMS桥精确的结构参数.最后采用ADS建立分布式MEMS移相器整体的微波等效电路,仿真得出移相器的性能指标参数.仿真结果表明移相器在35 GHZ时移相精度小于0.6°,移相器的插入损耗小于0.3 dB,回波损耗大于25 dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
5	王强	西南科技大学制造科学与工程学院	22	69	5.0	7.0
6	柏鹭	西南科技大学信息工程学院	6	25	3.0	4.0
7	贾小慧	西南科技大学信息工程学院	8	34	4.0	5.0