频闪动态干涉法测量离面位移的研究

• 作者: 李松
• 来源期刊: 武汉理工大学学报（交通科学与工程版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电 等厚干涉 基片曲率法
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 页码范围: 630-633
• 分类号: TN407
• 字数: 2329字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3963/j.issn.1006-2823.2011.03.048

摘要

频闪视觉测量和频闪干涉测量代表了目前先进的微机电系统动态测试技术,尤其在非接触无损测量技术有重要意义.通过微机电三维静动态测试系统,综合运用等厚干涉原理和基片曲率法,实时测量,计算出镀膜样品在升温和退火过程中应力的变化.结果表明,该方法适合测量微机电器件的离面位移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李松	武汉理工大学物流工程学院	31	40	3.0	4.0