EV Group推出全新Gemini FB系列旗舰级融合接合系统提供更高产出量与自动化功能

• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 Gemini 自动化功能 旗舰 产出量 EV FB 技术设备
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 企业之窗
• 页码范围: 65-65
• 分类号: TN85
• 字数: 855字
• 语种: 中文

摘要

微机电系统（MEMS）、纳米技术与半导体晶圆接合与微影技术设备领导厂商EVGroup（EVG），日前宣布推出旗下经业界验证与肯定的GeminiFB融合接合机系列之全新旗舰机型。