石化、晶圆半导体业放流水新标准

• 作者: 沈熙磊
• 来源期刊: 半导体信息
• 学科: 地球科学
• 关键词: 半导体业 晶圆制造 水标准 谨慎处理 半导体制造业 放流 DEHP 环保署 石化业 致癌性
• 年，卷（期）: bdtxx_2011,（6）
• 页码范围: 5-5
• 页数: 1页
• 分类号: X-652

摘要

【正】近日,台湾环保署增订石化业、石化专区污水下水道系统、晶圆制造及半导体制造业放流水标准,将氨氮、含氯或含苯等6项挥发性有机物以及DEHP等6项塑化剂列入管制。环署预估,将减少4000吨的氨氮排入河川水体,并可督促厂商谨慎处理含氯和含苯等致癌性较显著化合物、与加强制程废溶剂源头的管理。新增标准将管制石油化学业的河川与海洋管线放流水,其中苯、氯乙烯等6项挥发性有机物质,及DEHP、DNOP、DMP、DEP、DBP、BBP等6种塑化剂的含